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珠海：要点开展8英寸、12英寸硅片前瞻布局半导体资料
时间: 2025-01-08 22:16:26 | 作者: 贝博bb平台登录入口
1月7日音讯，珠海市工业和信息化局揭露寻求 《珠海市电子化学品工业高质量开展三年举动计划（2025—2027年）（寻求定见稿）》 定见。其间说到，要点开展8英寸、12英寸硅片，碳化硅、氮化镓、磷化铟等新一代化合物半导体衬底资料及外延片；前瞻布局氧化镓、锑化镓、锑化铟等第四代半导体资料。一起，要点开展匀胶铬版光掩模版，KrF、ArF移项光掩模版，前瞻布局深紫外光（DUV）掩膜版。（珠海市工信局）