研微半导体首台设备交给大客户
时间: 2024-11-26 15:54:16 | 作者: 贝博官网
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锡企成功添补国内半导体配备金属原子层堆积范畴的空白。11月22日上午，就在研微半导体落户无锡经开区两周年之际，该企业自主研制的首台国内先进纳米制程原子层堆积设备发车出厂，交给国内头部客户。
研微公司的创始人、CEO林兴博士介绍，这台300mm半导体设备针对芯片中深邃宽比结构的台阶覆盖不良等问题，能够给我们供给优异的堆积均匀性和一致性，在精度、功率及稳定性等方面完结质的腾跃。
不仅如此，该设备还能够有用应对半导体逻辑芯片向5nm及更先进制程推进和线宽缩小所带来的电阻率上升问题，用先进ALD的办法堆积新一代金属资料，一举处理这一长时间困扰职业开展的难题。“待批量化出产后，具有较高性价比优势。”研微相关担任人表明。
现在，研微已有多款原子层堆积设备产品完结样片检测，正逐渐进入客户工厂做验证出产。值得一提的是，研微研制的High-K资料的原子层设备是选用全球创始的双腔架构，在相同占地面积的情况下完结了产能提高近两倍。归纳功能、价格等要素，与同种类型的产品比较，这款产品可下降用户归纳运用本钱30%40%。
研微半导体作为经开区集成电路配备范畴的代表企业，致力于半导体薄膜堆积技能的研制与立异。从单项技能打破到产品线多元化开展，企业已具有国内最全且最先进的ALD设备技能和外延设备技能，成功开宣布多款整机设备，成为高端半导体范畴的立异前锋。
“企业在这里能定心出资、省心就事、顺心日子。”林兴慨叹。经开区不仅为其争取了超5000万元的“耐性本钱”支撑，还帮忙对接了东南大学集成电路学院等优质科研资源，建立产学研协作渠道，全方位支撑企业做大做强，一起，经开区还经过优化营商环境、完善基础设施建造等办法，为企业未来的开展供给有力保证。现在企业职工数达150人，招引近10位海归博士全职参加，其间1人当选国家人才方案、3人当选太湖人才方案。
经开区担任这个的人说，经开区将自始自终地为公司能够供给全天候、全流程、全方位服务，打造“本钱最低、诺言最好、功率最快、报答最高”的出资福地。
集成电路作为无锡前史悠远持久的“主力工业”，也是经开区“4+3+X”现代工业中的主导工业要点布局。现在，经开区以太湖湾信息园为中心承载区，精准聚集集成电路设计、配备及中心零部件赛道，推进优质工业项目落地生根，现已集聚生态圈企业近60家。
